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薄膜物理学
O484.1
薄膜的生长、结构和外延
O484.2
薄膜中的力学效应
O484.3
薄膜中的输运现象
O484.4
薄膜的性质
O484.5
薄膜测量与分析
O484.8
层介质膜
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